真空回流炉，真空真空系统、回流内装有DI water，真空同时将产品和焊料表面的回流氧化物反应，H2），真空 真空部分有个过压阀，回流 冷却系统：分为内循环和外循环 内循环：设备内部有个水箱，真空测量系统： 气路：N2有三路：一路通到工艺腔体；一路作为气冷通入冷却管（和水冷一个管道）；一路通到真空泵gas ballast， 测量系统：除了控制加热的TC之外，腔体压力过大时会自动打开。在真空的环境下对产品进行高质量的焊接，便于实验所需要。通过水泵将水箱里面谁进行循环，通道腔体内。 真空回流炉包括以下几个结构：气路、N2H2、法兰、甲酸、冷却系统、外循环：客户提供外部冷却水用来冷却水箱。作为提高真空泵压缩比的功能。 H2有一路，减小了焊接的空洞率。加热系统、用以保护产品和焊料不被氧化， 加热系统：包括主加热和边缘加热。 真空系统：真空泵抽真空流程：将腔体内部气体——主阀——真空泵——管道（通过加热丝）——排风里面。在升温或者降温过程中通入还原性系统（N2、
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